引言 为了满足焦点尺寸测量的不同需求,在GB/T 25758.i~25758.5中,描述了五种不同的方法。 扫描方法(GB/T 25758.1)适用于强度分布和焦点尺寸恒定的场合,例如用于校准及图像处理 过程。 射线照相方法(GB/T 25758.2与GB/T 25758.3)是传统的技术,以验证为主要目的,适用于最高 至200 kV的场合。 当针孔和狭缝照相机无法使用时,边缘方法(GB/T 25758.4)或许是有效的,这种方法适用于简易 的场合。 为了兼顾到微焦点系统,GB/T 25758.5提出了一种特殊的方法。 4268
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